Kärnutrustning i PR Cleaning Automated Product Line för LCD-skärmstillverkare
Den automatiska PR-rengöringslinjen (fotoresist) är en central våtprocessutrustning för tillverkning av LCD-skärmar. Den används främst efter fotolitografiprocessen på arraysubstratet för att noggrant ta bort rester av fotoresist, etsningsrester och ytmikro-föroreningar. Det är avgörande utrustning för att säkerställa panelkretsens precision och förbättra produktutbytet. Perfekt lämpad för den stränga produktionsmiljön i ett klass 100 renrum, uppnår den hög-precision, automatiserad och föroreningsfri -sluten-rengöring.
Den riktar in sig på de positiva och negativa fotoresistresterna efter fotolitografiprocessen och använder en fler-stegs ultraljudsrengöring + sköljningsprocess med rent vatten för att djupt ta bort skräp, organiska föroreningar, dammpartiklar och andra föroreningar som finns kvar efter fotolitografietsning. Den kan noggrant ta bort mikroskopiska rester under 0,5 μm, vilket förhindrar defekter som öppna kretsar på panelen, ljusa fläckar och Mura-fläckar orsakade av föroreningar. I kombination med ett 0,1 μm högt-precisionsfiltreringssystem förhindrar det sekundär kontaminering. Den uppnår grundlig, skada-fri borttagning och undviker påverkan av kvarvarande limskikt på efterföljande etsnings- och beläggningsprocesser, med en borttagningstäckningsgrad på 100 %.
Den inbyggda- ESD elektrostatiska styrmodulen kontrollerar strikt det elektrostatiska värdet inom området Mindre än eller lika med ±100V. Kombinerat med det anti-kavitets anti--statiska materialet och den beröringsfria magnetiska hjulleveransteknologin undviker den att elektrostatisk urladdning skadar panelens precisionskretsar, samtidigt som den förhindrar repor, flisbildning och dammgenerering från friktion på glassubstratet, vilket maximerar skyddet av substratets integritet.
Hög och låg temperatur konstant temperatur testkammare
Kärnan i den automatiska rengörings- och torkningsutrustningen för tillverkare av LCD-skärmar integrerar ett dubbelt torkläge: luftknivskärning och varmluftstorkning med konstant-temperatur. Detta tar snabbt bort vattenfläckar från underlagets yta, vilket ger -vattenstämpelfri och spår-fri torkning. Efter torkning närmar sig substratytans fukthalt noll, vilket möjliggör direkt överföring till nästa process utan sekundär bearbetning, vilket säkerställer processkontinuitet. Ett PLC-styrsystem möjliggör helautomatisk sluten-slinga för lastning, positionering, rengöring och lossning. Den stöder realtidsövervakning och larmfunktioner för justering av rengöringslösningens koncentration, temperatur, luftfuktighet och renhet. Den förseglade kammaren och designen med gradientundertryck förhindrar läckage av kemisk gas. I kombination med övertrycksmiljön i ett klass 100-renrum möjliggör det också återvinning av ultrarent vatten och klassificering och återvinning av avfallsvätskor, vilket uppfyller både energisparande och miljöskyddskrav.
Jämfört med traditionell manuell rengöring har helautomatiska produktionslinjer för PR-rengöring oersättliga fördelar: rengöringseffektiviteten ökas med mer än 3 gånger, och nästan 10 000 glassubstrat kan bearbetas per skift, vilket avsevärt förkortar processcykeln; rengöringskonsistensen är utmärkt, tar grundligt bort mikro-rester mindre än 0,5 μm, kontrollerar paneldefektfrekvensen till inom 0,5 PPM, och undviker effektivt defekter som ljusa fläckar, mörka fläckar och kretsavbrott på skärmen; Utrustningen antar en vattenbesparande och energibesparande design-med en hög återvinningsgrad för rent vatten och klassificerad insamling och behandling av avloppsvatten, som uppfyller produktionskraven för miljöskydd; hela maskinen är gjord av korrosionsbeständig- PVC och SUS304 rostfritt stål, med stark tätning, enkel rengöring och underhåll, och är lämplig för 24-timmars kontinuerlig drift i renrum, vilket blir standardutrustning för LCD-skärmstillverkare för att bygga avancerade produktlinjer och förbättra kärnans konkurrenskraft.
Kärnutrustning i fotolitografiverkstaden för LCD-skärmstillverkare
Exponeringsutrustningen är kärnutrustningen i fotolitografiverkstaden och ett viktigt processområde i tillverkningsprocessen för LCD-matriser. Även känd som en panellitografimaskin, är det en hög-optisk våtprocessenhet med hög precision. Dess huvudsakliga funktion är att överföra substratkretsens designmönster till ett glassubstrat belagt med fotoresist genom optisk exponering, vilket är avgörande för bildandet av mikro-kretsar i panelen. Den exakta överföringen av kretsmönstret från fotomasken till glassubstratet är en förutsättning för efterföljande etsnings-, beläggnings- och PR-rengöringsprocesser, som direkt bestämmer kvaliteten på bildskärmen. Utrustningen använder en beröringsfri exponeringsprocess, lämplig för stora-, tunna LCD-glassubstrat, och undviker repor, skador och kontaminering av underlaget.
De centrala tekniska höjdpunkterna inkluderar ett hög-precisionssystem med överlagringsnoggrannhet på mikron-nivå eller till och med under-mikron-nivå, vilket säkerställer noll felinriktning i fler-kretsstapling med fel som kontrolleras till inom några tusendelar av ett hårstrås diameter; användningen av en enhetlig exponeringsljuskälla och dynamisk fokuseringsteknik för att uppnå exponeringsenergifluktuationer<±3% on large-size substrates of several square meters, guaranteeing pattern consistency; a vacuum adsorption substrate platform to effectively suppress substrate deformation and improve exposure pass rate; and a PLC intelligent control system to achieve fully automated substrate loading, pre-alignment, exposure, and unloading, supporting online parameter monitoring, anomaly alarms, and data traceability, suitable for 24-hour continuous mass production.
Hela verkstaden använder en 589nm monokromatisk gul ljuskälla, som helt filtrerar bort ljus med korta-våglängder som ultraviolett, blått och vitt ljus, vilket förhindrar att dessa strålar i förtid utlöser fotokemiska reaktioner i fotoresisten, vilket orsakar dödliga defekter som mönsterfel, ofullständiga linjer och öppna kortslutningar. Belysningssystemet använder en kombination av dedikerade gula lysdioder och dubbla-lagerfilter för att förhindra ströljusläckage; dörrar, fönster och observationsfönster är utrustade med anti-ultraviolett filtermaterial; mobiltelefoner, kameror, ficklampor med-hög effekt och andra externa ljuskällor är strängt förbjudna inne i verkstaden, och fullständig-kontroll av ljusdisciplin implementeras för att eliminera risken för för tidig exponering av fotoresist från källan.
Introduktion till klass 100 renrum för LCD-skärmstillverkare
Inom området för hög-precisions-LCD-tillverkning är renrum i klass 100 (renrum i ISO klass 5) kärnan i produktionsanläggningen och en nyckelindikator på en tillverkares tekniska styrka och produktutbyte. De används ofta i kärnprocesser såsom array, cellmontering och modulförpackning av ledande displayföretag som BOE, TCL CSOT, HKC och Tianma. Dessa renrum har stränga renlighetsstandarder, med högst 100 svävande dammpartiklar som är större än eller lika med 0,5 μm i diameter per kubikfot luft (mindre än eller lika med 3520 per kubikmeter). Denna renhetsnivå överstiger vida den för medicinska operationssalar, och fungerar som en "hårdbarriär" för att förhindra damm, statisk elektricitet och kemiska föroreningar från att störa precisionsprocesser. Det är en kärnhårdvarukomponent som direkt bestämmer skärmens bildkvalitet, livslängd och kapacitet.
Verkstaden är designad och byggd strikt i enlighet med ISO internationella och inhemska standarder. Den använder ett vertikalt enkelriktat luftflödesläge, i kombination med ett ULPA-filtreringssystem i fyra-steg (för-filter, medel-effektivt filter, hög-effektivt filter och ultra-hög-effektivt filter), vilket uppnår en filtreringseffektivitet på upp till 99 % i stan, 99. avlägsnande av damm och eliminering av luftflödesdöda zoner. Samtidigt uppnås exakt miljökontroll över alla dimensioner: en konstant temperatur på 23±1 grad, relativ luftfuktighet kontrollerad till 45 %-55 %, ett positivt trycktillstånd som bibehålls i det rena området och en tryckskillnad som är större än eller lika med 10 Pa mellan angränsande områden, vilket helt förhindrar infiltration av externt damm; Med tanke på hur känsliga displaypaneler är för elektrostatiska skador, används anti-självutjämnande epoxigolv-, och 304 rostfria stålplåtar och stålplåtar i renrumsfärg används för väggar och tak, med strikt kontroll av värden för statisk elektricitet under hela processen; ytterligare kontroll tillhandahålls för molekylära -nivå VOC-kemiska föroreningar och latent interferens som mikrovibrationer, vilket uppfyller kraven för processer i nanoskala som fotolitografi, tunnfilmsavsättning och injektion av flytande kristaller.
Verkstaden antar en plan för renrumszonindelning, uppdelad i ett klass 100 kärnområde, ett klass 1000 buffertområde och ett klass 10 000 hjälpområde, med lager som förhindrar kors-kontamination, och personal och automatiserade materialtransportlinjer är helt separerade. Personal måste genomgå en trippelprocess med att byta kläder, luftdusch och elektrostatisk detektering, och kan endast komma in efter att ha burit hel-renrumsdräkt, dammfria handskar och skyddsglasögon; material överförs genom förreglade överföringsfönster och genomgår avlägsnande av damm och statisk elektricitet; Interiören är utrustad med FFU-kåpor för laminärt flöde, online-partikelräknare, temperatur- och fuktighetssensorer, differenstrycksmätare och annan utrustning för att uppnå 24-timmars övervakning i realtid och spårbarhet av data, och kommer omedelbart att utfärda varningar och göra justeringar i händelse av onormala indikatorer för att säkerställa kontinuerlig miljöstabilitet.
